气体质量流量于实验室行业中的应用
发布时间:
2022-05-17 15:14
公司简介
青岛芯笙微纳电子科技有限公司获得国家发明专利和荣誉资质39项
青岛芯笙将继续专注在微小气体流量测控领域,致力于为客户提供高品质产品和专业化服务,以质量和信誉为本加强管理,为推动国产分析仪器、半导体装备的发展作出贡献。
概述:结合国家近两年对科研、高校、研究院所等行业的持续投入,高精尖用气设备越来越多,用气量也逐年增加,对气体流量的精确计量控制需求也越来越多。青岛芯笙以独有的微机电系统(MEMS)为基础,推出多款适用于实验室领域的高性能气体质量流量计(MFM) 和气体质量流量控制器(MFC)产品。
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PART01
实验室常用气体的分类
一、根据用途分类
一是能源动力气体。在实验室中,部分气体用来提供能源,如天然气、煤气、液化气、氢气、乙炔等,有的提供动力,如压缩空气、氮气。
二是试验用原材料。实验室常用部分气体作为试验用原材料,如化学反应实验使用的氯气、一氧化氮气体、氧气、氢气等。
三是实验仪器辅助用气。实验室中部分试验或仪器需要高纯保护气体,如气相色谱、气质联用、原子吸收、ICP等精密仪器使用的高纯不燃气体(氮气、二氧化碳)、惰性气体(氦气、氩气)、易燃气体(氢气、乙炔)、助燃气体(氧气)等。
二、依据化学性质分类
一是有毒有害气体。具有极强毒性或腐蚀性,侵入人体能引起中毒、灼伤甚至死亡,如氯气、氨气等。
二是易燃易爆气体。具有易燃烧性和化学爆炸危险性,如氢气、乙炔等,有的易燃易爆气体还具有一定毒性。
三是助燃气体。具有助燃能力,但自身不燃烧,此类气体的存在增大火灾的危险性,如氧气等。
四其他气体。不具备上述三种性质的气体,如惰性气体、二氧化碳等。
PART02
常规分析实验室仪器的一般用气配备
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气相色谱:H2 N2 He Air
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液相质普:N2 CDA
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原子吸收:火焰法:Air+C2H2 / N20+C2H2 石墨炉法:Ar+02 / Ar+Air
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VOC检测:Air Ar He
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ICP-MS: (N2) Ar Air (He)
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液质联用:N2
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X荧光光谱仪:Ar/CH4 He
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等离子发射光谱:N2 Ar
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元素分析仪:O2 He
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碳硫分析仪:O2 N2
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测汞仪:Ar Air
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测硫仪:O2
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发热量测定仪:O2
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离子质谱:He 离子色谱:N2
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四极杆和TFO:He
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生物反应器:Air CO2 O2 N2
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三重四极:N2 H2
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超临界荟萃:CO2
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微波多态合成:N2 Ar
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核磁共振仪:N2 CDA He
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化学合成:CDA
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球矿团还原-膨胀试验仪:N2 煤气LPG(流量较大,主管至少使用3/8”)
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太阳能电池反应用气:Ar N2 He NH3 CF4 N2O H2 SiH4
SiH2CL2 SiH2CL3 SiHCL4等
青岛芯笙MFM-50系列气体质量流量计专门用于气体流量的高精度测量。该系列流量计采用业内先进流量传感芯片,结合航空铝材抛光气体流道设计,配合公司核心的标定和补偿算法,实现对各类洁净干燥、无腐蚀性气体的高精度流量测量。该产品20SLM以内典型精度为1%,50SLM典型精度为1.5%,量程比均优于100:1, 此系列产品的量程从100SCCM到800SLM可选(其它量程可咨询定制),并配有液晶屏显示、数字和模拟输出,方便用户现场和远程调试。该产品成本低、易安装、不需要额外温度和压力补偿,适用于实验室行业惰性气体计量。
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